-
品牌/廠家:
-
CMT
-
產(chǎn)品型號:
-
16B-5P
-
產(chǎn)品尺寸:
-
1150
-
產(chǎn)品重量:
-
7000
-
產(chǎn)品樣式:
-
立式
-
螺桿數(shù)量:
-
雙螺桿
-
新舊程度:
-
9成新
-
產(chǎn)品電壓:
-
30
-
電動(dòng)機(jī)功率:
-
50
-
產(chǎn)品用途:
-
玻璃 金屬 陶瓷 硅片
-
加工定制:
-
可定制
-
服務(wù)區(qū)域:
-
全國,臺(tái)灣
韓國CMT16B雙面拋光機(jī)的詳細(xì)技術(shù)參數(shù)與功能特點(diǎn)綜述:
一、核心規(guī)格參數(shù) 機(jī)械結(jié)構(gòu) 研磨盤尺寸:φ1140mm(底板)/φ380mm(頂板),材質(zhì)為SUS410不銹鋼。 游星輪配置:5片行星輪,尺寸P.C.D φ423.34(模數(shù)12/齒數(shù)200);內(nèi)齒輪P.C.D φ1185.34(模數(shù)12/齒數(shù)560)。 最小加工厚度:標(biāo)準(zhǔn)0.40mm(φ125mm工件),極限可達(dá)0.05mm。 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 四電機(jī)獨(dú)立控制: 底板電機(jī):7.5kW×4P,蝸輪箱減速(減速比1/25),變頻調(diào)速范圍0-46rpm。 頂板電機(jī):3.7kW×4P,蝸輪箱減速(減速比1/60),轉(zhuǎn)速0-20rpm16。 中心齒輪/外齒圈:伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)(3.5kW/1.5kW),行星齒輪減速。 控制系統(tǒng) 采用觸摸屏+PLC編程,支持工藝參數(shù)存儲(chǔ)與實(shí)時(shí)監(jiān)控。 壓力閉環(huán)調(diào)節(jié):電-氣比例閥控制,精度±0.01MPa。
二、技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn) 四向獨(dú)立運(yùn)動(dòng)模式 頂板、底板、太陽輪、內(nèi)齒輪獨(dú)立旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)雙面同步拋光,減少單面磨損并提升平行度。 行星輪正反轉(zhuǎn)功能優(yōu)化工件自轉(zhuǎn)/公轉(zhuǎn)軌跡,適配碳化硅、金剛石涂層等超硬材料。 安全與效率設(shè)計(jì) 斷電/斷氣自動(dòng)鎖緊機(jī)構(gòu) + 液壓緩降系統(tǒng),多重感應(yīng)開關(guān)實(shí)時(shí)監(jiān)控。 三級磨粉循環(huán)系統(tǒng),提升磨粉利用率50%,降低耗材成本40%。 工藝適應(yīng)性 干濕雙模式切換:粗磨(干式)與鏡面精拋(濕式)一體化。 支持φ125mm以下硅片、藍(lán)寶石、陶瓷基板的超薄加工。
三、性能指標(biāo) 項(xiàng)目 參數(shù) 加工精度 0.001mm級平面度工作氣壓 5~6 kg/cm²(閉環(huán)控制) 機(jī)身尺寸 1800×1550×2850 mm 適用電源 三相220V/50Hz
四、典型應(yīng)用領(lǐng)域 半導(dǎo)體制造:硅片減薄至0.4mm以下,300mm晶圓TTV≤0.6μm。 光學(xué)元件:藍(lán)寶石鏡片拋光(粗糙度Ra≤5nm)。 硬脆材料:砷化鎵、鈮酸鋰、磁性材料高效加工。
五、設(shè)備變體型號 CMT-16B-5:高精度版本,專攻0.001mm級超薄硅片拋光29。 CGD-16B:集成伺服驅(qū)動(dòng)行星齒輪系統(tǒng),提升傳動(dòng)穩(wěn)定性





