臺(tái)灣龍翩(LP)1650真空鍍膜機(jī)的綜合技術(shù)明細(xì):
一、核心規(guī)格參數(shù) 項(xiàng)目 參數(shù)/配置 真空腔體 Φ1650mm臥式設(shè)計(jì),兼容大型傘架(鐘罩式結(jié)構(gòu))極限真空度 ≤6.0×10?? Pa(機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵組合) 蒸發(fā)源系統(tǒng) 電子槍(EB):日本PLASMATECH單槍20穴坩堝 阻蒸源:上加熱絲+電阻蒸發(fā)裝置 離子源 美國(guó)大口徑霍爾源(增強(qiáng)膜層附著力與耐磨性) 膜厚監(jiān)控 XTC-3晶控儀 + 6點(diǎn)晶控探頭,實(shí)時(shí)調(diào)控沉積速率 抽氣系統(tǒng) 275L機(jī)械泵 + Edwards 2600羅茨泵 + Polycold 1102深冷捕集泵
二、關(guān)鍵技術(shù)配置 鍍膜工藝適應(yīng)性 支持金屬膜(鋁、鉻、銀)、光學(xué)膜(AR增透/AF防污膜)、裝飾膜(七彩PVC)多層復(fù)合鍍制。 單次裝載量達(dá)傳統(tǒng)光鍍機(jī)5-6倍,優(yōu)化膜層均勻性。 裝卸系統(tǒng)優(yōu)化 滑軌式傘具載入設(shè)計(jì) + 安全互鎖開關(guān),無需叉車輔助。 工件架支持行星旋轉(zhuǎn)(10-50rpm),適配曲面基材(如鏡頭、滑雪鏡片)。 自動(dòng)化控制 全程PLC編程控制,存儲(chǔ)多組工藝配方,自動(dòng)完成抽真空-鍍膜-冷卻流程。
三、性能指標(biāo) 項(xiàng)目 參數(shù) 典型鍍膜周期 25-40分鐘/批次(視膜層復(fù)雜度)膜厚均勻性 ≤±1.5%(φ200mm基板) 電源需求 三相380V/50Hz,峰值功耗≈75KVA冷卻水流量 ≥120升/分鐘(0.3-0.5MPa) 整機(jī)尺寸 ≈2000×2500×3000mm(寬×深×高,估算值)
四、典型應(yīng)用領(lǐng)域 消費(fèi)電子:智能手機(jī)鏡頭AR/AF鍍膜、觸控屏ITO導(dǎo)電層。 光學(xué)元件:DVD讀取頭、監(jiān)控鏡頭、紅外濾光片增透膜。 裝飾鍍膜:水晶飾品、汽車反光鏡七彩裝飾層。
五、選配與升級(jí)選項(xiàng) 真空系統(tǒng)強(qiáng)化:可增配分子泵提升抽速(極限真空≤10?? Pa)。 工藝擴(kuò)展:支持磁控濺射模塊(需定制靶腔),擴(kuò)展硬質(zhì)涂層(如CrN)鍍制能力。 注:設(shè)備參數(shù)以實(shí)際出廠配置為準(zhǔn),二手設(shè)備通常含3-6個(gè)月保修及工藝培訓(xùn)服務(wù)




