日本光馳OTFC-1300高精度光學真空鍍膜機
主要用于紅外截止濾光片、分色濾光片等光學薄膜的制備,廣泛應用于電子、汽車、光學儀器等領域 。 核心參數 真空系統 真空室尺寸:Φ1300mm×1610mm(H),材質為SUS304不銹鋼 。 排氣系統:機械泵+2個擴散泵+Polycold(或冷凝泵),極限真空度達7.0×10?? Pa 。 排氣時間:15分鐘(大氣壓至1.3×10?³ Pa) 。
鍍膜能力 電子槍配置:雙電子槍(JEOL 180°設計),支持30點穴位坩堝+環形坩堝,可鍍100層以上薄膜 。 離子源:17cm RF離子源,離子電流密度均勻分布 。
膜厚控制:HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀(350-1100nm波長范圍),6點晶控探頭 。 工件架與運動 工件架直徑:φ1130mm,轉速10-50rpm(可調) 。
基板溫度:最高350℃ 。
設備特點 自動化控制:全自動蒸鍍過程,支持60/80點式光學膜厚監控 。
高穩定性:采用日本ULUAC冷泵和雙級冷頭,確保工藝穩定性 。 維護便捷:需定期清潔離子源、更換密封圈及過濾器,以延長設備壽命