ZYGO 4英寸(102mm)激光干涉儀,主要聚焦于GPI-XP/D系列和Verifire MST型號:
一、產(chǎn)品型號與功能
GPI-XP/D系列
測量能力:支持平面、球面、柱面元件的曲率半徑、面形及透過波前測量。
技術參數(shù):
測量光束直徑:4英寸(102mm)。
激光類型:632.8nm氦-氖激光器,相干長度>100米。
重復性精度:λ/10000(RMS)。
CCD分辨率:640×480像素(可擴展至1024×1024)。
標準鏡頭精度:平面鏡頭λ/20,球面鏡頭λ/10(F數(shù)覆蓋F/0.65至F/7.1)。
配套:含軟件、鏡頭及支架,激光源頻率穩(wěn)定度達0.1納米。
Verifire MST
支持多平行面測量(3-4個面),通過波長調(diào)制技術分離干涉條紋,適用于未鍍膜平行平板的檢測
二、技術參數(shù)匯總
光源:632.8nm氦-氖激光器,功率≤1mW。
分辨率:λ/8000(約0.0791納米),支持3180條紋解析。
檢測范圍:最大樣件尺寸254×203×203mm
環(huán)境適應性:需溫度穩(wěn)定(20℃±2℃)、濕度40%-60%,并配備隔振平臺。
三、應用場景
主要用于光學元件(如透鏡、反射鏡)的面形檢測,適用于精密制造、航空航天等領域。
四、校準與維護
校準規(guī)范:需定期進行波長校準、直線度校準等,確保測量精度。
自動化技術:部分型號(如Verifire HD/HDX)配備自動化校準系統(tǒng),可實時監(jiān)控并調(diào)整參數(shù)
詳情楊經(jīng)理 181-030-45976