電議或面議

一、基礎參數結構與尺寸外形尺寸：約130017001200mm（長寬高），整機重量約2800kg。研磨盤規格：上盤：64023530mm下盤：64441030mm。太陽輪與游星輪：單獨電機驅動，支持正反轉調節5。加工能力最大加工直徑：180mm。工件厚度范圍：0.06mm20mm（下盤可加工更薄工件）。加

電議或面議

一、核心參數真空系統真空室規格：內徑2350mm高度1400mm。極限真空度：7.010??Pa，排氣時間15分鐘（從大氣壓至2.010?Pa）。基板架：直徑2200mm，5片式旋轉結構，轉速20rpm（部分型號支持10-30rpm調節）。鍍膜配置蒸發源：1臺電子槍1臺熱阻蒸鍍裝置。射頻離子源：23寸

電議或面議

一、核心配置真空系統真空室尺寸：2050mm（直徑）1610mm（高度），材質為SUS304不銹鋼真空泵組：機械泵：SV630型號（抽速3~5分鐘達基礎真空）羅茨泵：愛德華EM2600機板泵：愛德華EM27535深冷裝置：韓國V-PLUS1000H，提升動態真空穩定性鍍膜控制單元電子槍：韓一12六型電

13500元/臺

SGC-S1550i/1700Wi系列采用高功率RF離子源（23英寸輻照面積），支持Ф1150mm以上基片均勻鍍膜，可實現100層以上復雜介質膜制備，如DBR膜、AR膜、AF膜等，滿足LED、光學器件及顯示面板的高精度需求。污染控制技術：通過真空密封與顆粒抑制設計，連續20批次IR截止濾光片

電議或面議

日本昭和真空鍍膜機（23寸射頻源SGC-S1550i型）的核心配置與技術細節綜合說明：一、核心配置與性能參數真空系統真空室：尺寸兼容1550mm規格（不銹鋼材質），工件架輻照面積1150mm，極限真空7.010??Pa，搭配機械泵羅茨泵擴散泵低溫冷凝器（POLYCOLD），15分鐘內可

電議或面議

日本昭和真空鍍膜機（23寸射頻源SGC-S1550i型）的核心配置與技術細節綜合說明：一、核心配置與性能參數真空系統真空室：尺寸兼容1550mm規格（不銹鋼材質），工件架輻照面積1150mm，極限真空7.010??Pa，搭配機械泵羅茨泵擴散泵低溫冷凝器（POLYCOLD），15分鐘內可