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一、核心配置與技術(shù)參數(shù)

‌真空室系統(tǒng)‌

尺寸：Ф1550×1800mm（1550型）或Ф1800×1800mm（1800型），材質(zhì)為SUS304不銹鋼。工件架：直徑Ф1400mm，轉(zhuǎn)速10-30rpm可調(diào)，適配行星式或鐘罩式運(yùn)行模式。

‌鍍膜組件‌

‌離子源‌：標(biāo)配17-23寸射頻離子源（RF），增強(qiáng)膜層致密性及附著力，通過4萬次摩擦測試，適用于AR/AF防污制備。‌蒸發(fā)源‌：雙電子槍（16F型號）+12穴環(huán)形坩堝，支持100層以上復(fù)雜膜系（如紅外截止濾光片）。

‌監(jiān)控系統(tǒng)‌

膜厚控制：HOM2R-VIS350A光學(xué)監(jiān)控儀（波長350-1100nm），配合6點(diǎn)水晶傳感器，實(shí)現(xiàn)納米級精度。

‌排氣系統(tǒng)‌

機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵+低溫冷凝器（Polycold），極限真空≤7.0×10??Pa，抽真空僅需15分鐘。
二、應(yīng)用場景

攝像頭鏡片‌：專攻AR（抗反射）、AF（防指紋）、AS（防污）復(fù)合膜，提升透光率與耐用性。

光學(xué)濾光片‌：紅外截止濾光片（IR-CUT）、分色濾光片量產(chǎn)，滿足醫(yī)療/天文領(lǐng)域高精度需求

詳情 楊經(jīng)理 18103045976